Analisador de Boro em linha para água ultrapura em aplicações de microeletrónica, modelo Boron Ultra

Monitorização contínua e em linha do boro até níveis de uma única parte por bilhão (ppt)

À medida que os chips semicondutores se tornam cada vez mais pequenos e complexos, a procura por água ultrapura (UPW) de alta qualidade é fundamental. Mesmo a mais mínima contaminação pode causar defeitos significativos, pelo que a deteção precoce de impurezas é essencial na fabricação de microeletrónica. O novo analisador Sievers Boron Ultra é o único analisador de boro em linha e em tempo real no mercado que monitoriza o boro em água ultrapura ao nível de partes por bilhão (ppt), superando as especificações da Folha de Rota Internacional para Dispositivos e Sistemas (IRDS) de 50 ppt. O analisador foi concebido em colaboração com fabricantes de semicondutores para satisfazer as necessidades dos responsáveis pelas instalações, dos proprietários de sistemas UPW e dos engenheiros de controlo de processos UPW.

Características:

• Monitorização contínua e em linha até partes por bilhão (ppt) de boro
• 20 pontos de dados por hora
• Conformidade com as especificações do circuito primário e de polimento
• Cumpre todos os requisitos para a marcação UKCA e CE
• Opções multicanal: disponível em um canal e dois canais
• Interface gráfica de utilizador moderna e intuitiva com ecrã tátil de 10,1 polegadas com retroiluminação LED multicolorida
• Ampla gama de saídas: duas saídas analógicas isoladas de 4-20 mA; duas saídas de alarme; duas saídas binárias isoladas; duas portas USB 2.0; e uma porta Gigabit Ethernet
• Manutenção e consumíveis mínimos

Aplicações: semicondutores e microeletrónica. Água de processo ultrapura/UPW.

• Controlo da contaminação
• Conformidade normativa
• Otimização da regeneração de resinas
• Controlo de processos

Especificações de funcionamento

• Intervalo: 0,010 – 100 ppb B
• Limite de quantificação (LOQ): 0,030 ppb B
• Limite de deteção (LOD) 0,010 ppb B
• Precisão ± 0,01 ppb B, <0,03 ppb B
• ± 15%, ≥ 0,03 ppb B
• Precisão SD ≤ 0,003 ppb B, ≤  0,100 ppb B
• RSD ≤ 3%, > 0,100 ppb B
• Amostra mínima Resistividade : 15 MΩ–cm
• Temperatura da amostra: 15°-40°C (59-104°F)
• Caudal da amostra: 50-400 mL/min
• Pressão da amostra: 103-689 kPa (15-100 psig)
• Estabilidade da calibração: Normalmente 12 meses
• Partículas da amostra: Pré-filtragem de 15 mícrons
• Resíduos: Drenagem por gravidade (sem contrapressão), ventilada
• Modos de análise: Em linha, média e cronometrada em linha
• Tempo de análise¹ : 3 minutos ou 6 minutos

Especificações do analisador

• Requisitos de energia: 100-240 VCA, 40 W, 50/60 Hz
• Certificações de segurança: Listado na CE, UKCA, ETL. Em conformidade com a norma UL 61010-1. Certificado de acordo com a CSA 22.2 N.º 61010-1.
• Ecrã: Ecrã LED retroiluminado, 10,1 polegadas, 1280 x 800 com ecrã tátil
• Classificação IP: IP 45
• Entradas: 3 entradas binárias isoladas
• Saídas: 2 saídas analógicas isoladas de 4-20 mA; 2 saídas de alarme;
  • 2 saídas binárias isoladas; 2 portas USB 2.0 (uma externa, outra interna); Porta Ethernet de 1 Gigabit;
• Protocolos de comunicação: Modbus TCP/IP
• Sobretensão transitória: Instalação (sobretensão) Categoria II (Grau de contaminação ambiental do instrumento 2 assumido com o objetivo de testar e avaliar a integridade do isolamento)
• Dimensões: 54,2 cm de altura x 59,3 de largura x 38,8 de profundidade (21,35 de altura x 23,35 de largura x 15,27 polegadas de profundidade)
• Peso: Vazio: 21,75 kg (48 lb); Com consumíveis: 23,1 kg (51 lb)
• Espaços livres mínimos (para controlo de temperatura, humidade e acesso): Frente: 48,3 cm (19 pol.); Traseira: 2,5 cm (1 pol.); Lados: 30,5 cm (12 pol.) de cada lado; Parte superior: 30,5 cm (12 pol.); Parte inferior: Os suportes do analisador proporcionam espaço livre para a secretária.
• Configurações disponíveis : Uma ou duas sequências (opcional)
• Temperatura ambiente: 10-40 °C (50-104 °F)
• Altitude : Concebido para utilização em altitudes até 2000 m (6561 pés)
• Humidade relativa máxima: Até 95%, sem condensação

Consumíveis

• Reagente de boro: 45 dias com uma frequência de amostragem de 3 minutos; 90 dias com uma frequência de amostragem de 6 minutos
• Coluna de reagente: 12 meses
• Coluna zero: 12 meses
• Cabeça da bomba peristáltica: 12 meses

Boro

Certificações de segurança CE, UKCA, ETL, UL Std. 61010-1 e CSA 22.2 N.º 61010-1

Classificação IP 45

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