Analisador de Boro online em água ultrapura para aplicações de microeletrónica, modelo Boron Ultra | Energia/geração
Instrumentação Analítica
Analisador de Boro online em água ultrapura para aplicações de microeletrónica, modelo Boron Ultra
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Sievers - Suez -Veolia
Energia/geração

Analisador de Boro online em água ultrapura para aplicações de microeletrónica, modelo Boron Ultra

Monitorização contínua e em linha do boro até níveis de uma única parte por bilhão (ppt) À medida que os chips semicondutores se tornam menores e mais complexos, a procura por água ultrapura (UPW) de alta qualidade é fundamental. Mesmo a mais mínima contaminação pode causar defeitos significativos, por isso a deteção precoce de impurezas é essencial na fabricação de microeletrónica. O novo analisador Sievers Boron Ultra é o único analisador de boro em linha em tempo real no mercado que monitoriza o boro em água ultrapura em partes por bilhão (ppt), superando as especificações da Rota Internacional para Dispositivos e Sistemas (IRDS) de 50 ppt. O analisador foi projetado em colaboração com fabricantes de semicondutores para atender às necessidades dos responsáveis pelas instalações, proprietários de sistemas UPW e engenheiros de controle de processos UPW.
Características:
  • Monitorização contínua e em linha até partes por bilhão (ppt) de boro
  • 20 pontos de dados por hora
  • Conformidade com as especificações de loop primário e de polimento
  • Cumpre todos os requisitos para a marcação UKCA e CE
  • Opções multicanal: disponível em um canal e dois canais
  • Interface gráfica de utilizador moderna e intuitiva com ecrã tátil de 10,1 polegadas com retroiluminação LED multicolorida
  • Ampla gama de saídas: duas saídas analógicas isoladas de 4-20 mA; duas saídas de alarme; duas saídas binárias isoladas; duas portas USB 2.0; e uma porta Gigabit Ethernet
  • Manutenção e consumíveis mínimos
Aplicações:
  • semicondutores e microeletrónica. Água de processo ultrapura/UPW.
  • Controlo da contaminação
  • Conformidade regulamentar
  • Otimização da regeneração de resinas
  • Controlo de processos


Especificações técnicas
Especificações de operação
Intervalo 0,010 – 100 ppb B
Limite de quantificação (LOQ) 0,030 ppb B
Limite de deteção (LOD) 0,010 ppb B
Precisão   ± 0,01 ppb B, <0,03 ppb B
± 15%, ≥ 0,03 ppb B
Exatidão   SD ≤ 0,003 ppb B, ≤ 0,100 ppb B
RSD ≤ 3%, > 0,100 ppb B
Amostra mínima Resistividade 15 MΩ–cm
Temperatura da amostra 15°-40°C (59-104°F)
Caudal da amostra 50-400 mL/min
Pressão da amostra 103-689 kPa (15-100 psig)
Estabilidade da calibração Normalmente 12 meses
Partículas da amostra Pré-filtragem de 15 mícrons
Resíduos Drenagem por gravidade (sem contrapressão), ventilada
Modos de análise Em linha, média e cronometrada em linha
Tempo de análise1 3 minutos ou 6 minutos

Especificações do analisador
Requisitos de energia 100-240 VCA, 40 W, 50/60 Hz
Certificações de segurança Listado em CE, UKCA, ETL. Em conformidade com a norma UL 61010-1. Certificado de acordo com CSA 22.2 No. 61010-1.
Ecrã Ecrã LED retroiluminado, 10,1 polegadas, 1280 x 800 com ecrã tátil
Classificação IP IP 45
Entradas 3 entradas binárias isoladas
Saídas 2 saídas analógicas isoladas de 4-20 mA; 2 saídas de alarme;
2 saídas binárias isoladas;
2 portas USB 2.0 (uma externa, outra interna);
Porta Ethernet de 1 Gigabit;
Protocolos de comunicação Modbus TCP/IP
Sobretensão transitória Instalação (sobretensão) Categoria II (Grau de contaminação ambiental do instrumento 2 assumido com o objetivo de testar e avaliar a integridade do isolamento)
Dimensões 54,2 cm de altura x 59,3 de largura x 38,8 de profundidade (21,35 de altura x 23,35 de largura x 15,27 polegadas de profundidade)
Peso Vazio: 21,75 kg (48 lb); Com consumíveis: 23,1 kg (51 lb)
Espaços livres mínimos (para controlo da temperatura, humidade e acesso) Frente: 48,3 cm (19 polegadas); Traseira: 2,5 cm (1 polegada); Lados: 30,5 cm (12 polegadas) de cada lado; Parte superior: 30,5 cm (12 polegadas); Parte inferior: Os suportes do analisador proporcionam espaço livre para a secretária.
Configurações disponíveis Uma ou duas sequências (opcional)
Temperatura ambiente 10-40 °C (50-104 °F)
Altitude Projetado para uso em altitudes de até 2000 m (6561 pés)
Humidade relativa máxima Até 95%, sem condensação

Consumíveis
Reagente de boro 45 dias com uma frequência de amostragem de 3 minutos; 90 dias com uma frequência de amostragem de 6 minutos
Coluna de reagente 12 meses
Coluna zero 12 meses
Cabeça da bomba peristáltica 12 meses

Parâmetros
Boro
Normas
Certificações de segurança CE, UKCA, ETL, UL Std. 61010-1 e CSA 22.2 No. 61010-1
Classificação IP 45
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